Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

В книге рассмотрены технологические основы производства интегральных полупроводниковых и гибридных пленочных микросхем. Наряду с традиционной технологией приведены методы обработки и сборки, которые становятся основополагающими в производстве микропроцессорных БИС и микросборок, даны необходимые сведения о технологическом оборудовании Учебное пособие для вузов.

Автор	Курносов А.И., Юдин В. В.
Издательство	Высшая школа
Год издания	1986
Возрастное ограничение	12+
Объем (стр)	368
Переплет	Твердый
Состояние	Хорошее