В книге известного японского ученого рассмотрены методы электронно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Дана классификация различных типов дефектов, методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.
| Автор | Таруи Я. |
| Издательство | Радио и Связь |
| Год издания | 1985 |
| Возрастное ограничение | 12+ |
| Объем (стр) | 480 |
| Переплет | Твердый |
| Состояние | Хорошее |