Книга посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Рассматриваются принципы применения химических реагентов и газов, а также способы получения особо чистой воды.
Под редакцией И. Хаякавы. Пер. с японского
| Издательство | Мир |
| Год издания | 1990 |
| Возрастное ограничение | 12+ |
| Объем (стр) | 456 |
| Переплет | Твердый |
| Состояние | Очень хорошее |