Чистые помещения

Книга посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Рассматриваются принципы применения химических реагентов и газов, а также способы получения особо чистой воды.
Под редакцией И. Хаякавы. Пер. с японского

Издательство Мир
Год издания 1990
Возрастное ограничение 12+
Объем (стр) 456
Переплет Твердый
Состояние Очень хорошее
Перед публикацией отзывы проходят модерацию